التجفيف بعد عمليةCMP هو أحد العوامل التي تؤدي إلى انخفاض جودة المنتجات في مصانع الإنتاج. عادةً، تنتج البقع الناتجة عن الماء والخدوش الصغيرة وترسب الجزيئات عن نفس الأسباب: عدم استقرار درجة الحرارة وعدم توزيعها بشكل متساوٍ. لذلك، يجب أن يكون جهاز التجفيف قادرًا على توفير تحكم دقيق في درجة الحرارة على مستوى الرقاقة، بحيث تظل درجة الحرارة ثابتة ضمن النطاق المطلوب.
ما الذي يُعتبر مهمًا؟ لقد صُمم جهاز التجفيف باستخدام عناصر تسخين سريعة الاستجابة ومستشعرات عالية الدقة، بحيث يمكن الحفاظ على توزيع متساوٍ لدرجة الحرارة على مستوى الرقاقة، بدقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية. كما أن خوارزمية التحكم تساعد في التعامل مع التغيرات في الحمل الحراري، مثل حركة الرقاقة أو تغير تدفق الغاز، بحيث تظل درجة الحرارة ثابتة. كما أن الجهاز متوافق مع بيئات الغرف النظيفة، حيث أن المواد والأغلاق المستخدمة مصممة لتلبية معايير الفئات من 1 إلى 100، بالإضافة إلى أن الأسطح مصممة بحيث يتم تقليل تكون الجزيئات. كما أن الجهاز يوفر استقرارًا في الأداء على مدار الساعة، وتُظهر البيانات الميدانية عدم وجود أي توقفات غير مخطط لها.
لماذا يُعتبر ذلك مهمًا بعد عمليةCMP؟ بعد عمليةCMP، تكون سطح الرقاقة نشطًا من الناحية الكيميائية وحساسًا من الناحية الميكانيكية. لذلك، من المهم الحفاظ على درجة حرارة ثابتة، حتى لا يحدث تليين في المواد المستخدمة في العملية، ولحماية سلامة النمط الموجود على الرقاقة أثناء عملية التجفيف. كما أن التوزيع المتساوي لدرجة الحرارة يساعد في التخلص من النقاط الساخنة التي قد تؤدي إلى ظهور خطوط على سطح الرقاقة.
النتيجة هي انخفاض كثافة العيوب، وانخفاض عدد الرقاقات التي يجب إعادة معالجتها، بالإضافة إلى استقرار أوقات الإنتاج. كما أن استخدام الطاقة يقل، لأن النظام يصل إلى درجة الحرارة المطلوبة بسرعة ويحافظ عليها دون تجاوزها، كما أن فترات الصيانة تزداد، لأن الأجزاء تعمل ضمن الحدود الدنيا للضغوط الحرارية.
ما الذي يجب التخطيط له؟ يتطلب التركيب تنسيق موقع الأجهزة ومصادر الغاز وأنظمة التهوية. كما يجب التحكم بدقة في تدفق الهواء ودرجة الحرارة لتتناسب مع متطلبات عمليةCMP. كما يجب تنظيم عمل المستشعرات والأجهزة البصرية بشكل دوري، للحفاظ على توزيع متساوٍ لدرجة الحرارة على مستوى الرقاقة، بدقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية. هذه الطريقة هي الأكثر موثوقية للحفاظ على استقرار جودة المنتجات على مر الوقت.