ফ্যাব ফ্লোরে, সফট বেক এবং হার্ড বেক হল সেখানেই আপনি তাপীয় বাজেট সেট করেন যা গুরুত্বপূর্ণ মাত্রা নিয়ন্ত্রণকে তৈরি বা বিনষ্ট করে। যদি ওয়েফারের উপর তাপমাত্রা ১.৫°C পরিবর্তিত হয়, তবে আপনার লিথোগ্রাফি উইন্ডো অদৃশ্য হতে শুরু করে। আমরা সেই অনিশ্চয়তাকে দূর করতে সিরামিক ইনফ্রারেড হিটার প্যানেল তৈরি করেছি।
যা প্রযুক্তিগতভাবে গুরুত্বপূর্ণ
এটি স্বল্প-তরঙ্গের ইনফ্রারেড, একটি ঘন সিরামিক ম্যাট্রিক্সের মাধ্যমে চালিত, যাতে তাপ ঠিক যেখানে প্রয়োজন সেখানে দ্রুত পৌঁছায়। আপনি সক্রিয় এলাকার মধ্যে ±০.১°C তাপমাত্রার সমতা পান, এবং সেটপয়েন্ট পরিবর্তিত হলেও পুনরাবৃত্তি কঠোর থাকে। পৃষ্ঠটি ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমে বজায় থাকে—কণামুক্ত, কোনো আউটগ্যাসিং নেই, ফ্লেকিং নেই। প্রতিক্রিয়া যথেষ্ট দ্রুত যাতে গতিশীল রেসিপিগুলিকে অনুসরণ করতে পারে অতিরিক্ত তাপমাত্রা ছাড়াই, তাই তাপীয় বাজেট পূর্বনির্ধারিত থাকে।
কেন এটি ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়াকরণে বজায় থাকে
ফটোরেজিস্ট গরম স্পট এবং ঠান্ডা প্রান্ত পছন্দ করে না। সিরামিক প্যানেল ধারাবাহিক তাপ সরবরাহ করে, তাই রেজিস্ট সমানভাবে নিরাময় হয়। এর মানে হল কম ফুটিং এবং কম লাইন-এজ রুক্ষতা। ব্যবহারিকভাবে, আপনি উচ্চতর ফলন এবং কম পুনরায় কাজের লট দেখতে পাবেন।
সিস্টেমটি ২৪/৭ স্থিতিশীল আউটপুট সহ চলে, যা অনিচ্ছাকৃত ডাউনটাইম কমায় এবং রক্ষণাবেক্ষণের সময়সীমা বাড়ায়। এটি দক্ষও—প্রয়োজন অনুসারে তাপ, ন্যূনতম স্ট্যান্ডবাই ক্ষতি—সুতরাং আপনি কর্মক্ষমতা ক্ষুণ্ন না করেই শক্তি ব্যবহারের পরিমাণ কমিয়ে রাখতে পারেন।
আপনাকে ইনস্টলের ক্ষেত্রে ঠিক কি করতে হবে
মাউন্টিং সঠিক হতে হবে: যান্ত্রিক সমতলতা এবং পার্শ্ববর্তী মডিউল থেকে তাপীয় বিচ্ছিন্নতা। যদি ইন্টারফেসটি ভুল হয়, তাহলে আপনি তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্ট তৈরি করবেন। সামঞ্জস্যপূর্ণ ফিক্সচার পরিকল্পনা করুন, এবং একীকরণের সময় তাপমাত্রা সেন্সিং কোথায় পড়ে তা দ্বিগুণ চেক করুন।
একবার এটি সঠিকভাবে সাজানো হলে, প্যানেল কাজ করে। তবে যান্ত্রিক ইন্টারফেসই হল যেখানে আপনি সম্পূর্ণ তাপীয় স্পেক অর্জন করেন অথবা পরে এর বিরুদ্ধে লড়াই করেন।