Bei flexiblen Substraten sowie Schichtstrukturen sind Unregelmäßigkeiten im thermischen Verhalten katastrophal – schon kleine Abweichungen führen dazu, dass die kritischen Abmessungen verändert werden. Wenn man die Trocknung bei hoher Temperatur durchführt, bricht das Profil des Fotoleitmittels zusammen. Ungleichmäßige Temperaturen ermöglichen es außerdem, dass Reinigungsrückstände zurückbleiben. Zudem können bei zu niedrigen Temperaturen beim Verpacken Hohlräume entstehen, die nicht akzeptabel sind.
Was wirklich wichtig ist:
Wir haben diesen Heizer für den Produktionsbereich entwickelt – nicht für Präsentationen. Es muss eine Homogenität von ±0,1°C in der aktiven Zone gewährleistet werden, damit jede Wafer dieselbe Temperatur erhält – ohne Unterschiede zwischen Rand und Mitte sowie ohne Hotspots, die zu Problemen führen könnten. Der Heizer ist kompatibel mit Reinräumen der Klassen 1–100. Die Heizoberfläche ist so konzipiert, dass während des Betriebs keine Partikel entstehen – dadurch bleiben die Kontaminationswerte auf einem angemessenen Niveau. Die Trocknungszyklen des Fotoleitmittels sind wiederholbar, da die Steuerung konstant bleibt und die Temperatur stets am Setpunkt liegt.
Warum der Heizer in der Produktion funktioniert:
Der Heizer basiert auf vier grundlegenden Prozessen: Trocknen der Wafer, Weiche und Harte Trocknung des Fotoleitmittels, Verpackung sowie Reinigung. Eine hohe Homogenität verkürzt die Trocknungszeit, da keine zusätzliche Zeit für die Kompensation notwendig ist. Stabile Setpunkte verhindern, dass das Fotoleitmittel nicht den Spezifikationen entspricht. Das Design mit geringer Partikelbildung verhindert Mikrodefekte, die die Qualität beeinträchtigen könnten. Der Heizer kann 24/7 betrieben werden, ohne dass überraschende Ausfälle aufgrund von Temperaturschwankungen auftreten.
Was man beachten muss:
Bei der Installation muss man sicherstellen, dass der Abluft- und Gasstrom des Heizers mit dem Aufbau der Kammer übereinstimmt. Zudem muss der Heizer innerhalb der vorgegebenen Toleranzen positioniert werden, damit die Homogenität erhalten bleibt. Der Heizer ist empfindlich gegenüber Schwankungen der Netzspannung – solche Schwankungen können vorübergehende Abweichungen verursachen, bevor der Controller darauf reagieren kann. Planen Sie daher eine eigene Stromversorgung und prüfen Sie die Wärmekapazität des Substrats. Dünne Schichten reagieren schneller, dicke Schichten benötigen mehr Zeit zur Anpassung. Einmalig die Einstellungen vornehmen und das Profil dokumentieren – dann funktioniert die Anlage mit weniger Störungen.