En la planta de fabricación, una variación de 1°C durante el proceso de secado puede arruinar todo un lote de obleas. Por eso, diseñamos calentadores infrarrojos personalizados para eliminar ese riesgo. Estos calentadores permiten un control térmico preciso a nivel de cada oblea, durante los procesos de secado, curado del fotoreactivos y secado posterior a la limpieza.
Lo que realmente importa
El núcleo de estos calentadores está hecho de luz infrarroja cercana, con un perfil espectral específico, lo que permite calentar directamente el objetivo, sin necesidad de usar baños de calentamiento ni riesgo de contaminación. La uniformidad en el calor sobre toda la superficie de la oblea se mantiene dentro de los ±0,1°C, mientras que la repetibilidad entre diferentes ciclos de calentamiento se mantiene dentro de los ±0,5°C. La respuesta del sistema es inferior a dos segundos, lo que permite mantener un control preciso. Se logra un ambiente de clase 1–100 mediante el uso de componentes de cuarzo/cerámica, materiales que no emiten gases y un diseño que reduce al mínimo la cantidad de partículas presentes. Estos equipos están diseñados para funcionar las 24 horas del día, con un tiempo medio entre fallos de decenas de miles de horas. También incluyen módulos intercambiables para reducir los tiempos de inactividad no planificados.
En la litografía, los procesos de secado suave y duro son cruciales para controlar las dimensiones de los componentes electrónicos. Nuestros calentadores mantienen estable el calor necesario para el fotoreactivo, lo que reduce las variaciones en el espesor de las líneas y aumenta la eficiencia del proceso. En cuanto al secado de las obleas y después de la limpieza, el calentamiento rápido y uniforme evita la aparición de marcas o manchas en la superficie, sin necesidad de contacto físico.
En el proceso de empacado, esta misma plataforma permite obtener perfiles de curado consistentes para los materiales utilizados en el encapsulado, reduciendo así el tiempo de ciclo mientras se mantiene la adherencia y confiabilidad de los componentes. Además, el consumo de energía disminuye, ya que el calor se distribuye directamente en el proceso, sin desperdiciarse en el espacio de la cámara.
Lo importante es que estos calentadores están diseñados específicamente para sus herramientas. La geometría de la cámara, el tipo de abrazaderas y la ubicación de los sensores son factores importantes. La puesta en marcha del equipo es rápida, y se necesita aire limpio y seco para mantener los parámetros estable. Es crucial adaptar la salida espectral al tipo de sustrato utilizado; nosotros proporcionamos los datos necesarios para ajustar la emisividad y reflectividad según cada proceso.