Mantener las obleas de silicio impecables: La verdad sobre el calentamiento por infrarrojos
Si opera en un ambiente limpio de clase 100, ya conoce bien ese problema. Un solo grano de polvo, una partícula microscópica, o incluso algún gas que se escape de un componente pueden arruinar todo su lote de producción.
Cuando se trata de calentar las obleas de silicio, no se puede utilizar cualquier tipo de lámpara. Por eso, utilizamos cuarzo sintético de alta pureza para nuestras lámparas de infrarrojos. Es la única forma de asegurarse de que nada pueda caer sobre las obleas durante el proceso de calentamiento.
¿Por qué es importante el cuarzo?
El cuarzo estándar en realidad no es “puro”. Contiene impurezas que comienzan a evaporarse cuando se calienta. Eso representa un verdadero desastre durante la fase de calentamiento. Utilizamos cuarzo de alta purezza para evitar este problema. Pensemos en el tubo de cuarzo como una burbuja herméticamente cerrada; así, el filamento de tungsteno permanece protegido y nunca está expuesto al mismo aire que existe en el área limpia.
Lograr la temperatura adecuada
Es necesario que la temperatura sea uniforme en toda la oblea. No deben haber zonas calientes ni frías. Diseñamos estas lámparas para emitir calor de onda corta. De esta manera, el calor actúa directamente sobre el sustrato, en lugar de calentar solo las paredes de la cámara. Además, debido al uso de filamentos de alta densidad, las lámparas reaccionan casi instantáneamente cuando el controlador PID ajusta la potencia.
Pero tenga cuidado con las caídas de voltaje. Si conecta estas lámparas en serie, la resistencia puede causar que algunas partes de la oblea estén más frías que otras. Le recomiendo usar fuentes de alimentación dedicadas. Es la mejor manera de mantener una potencia constante en todas las lámparas del conjunto.
La realidad de su uso
Estas lámparas están diseñadas para integrarse fácilmente en las herramientas semiconductores existentes. Pero no olvide el sistema de refrigeración. Estas lámparas generan mucho calor en un espacio pequeño. Si el flujo de aire es insuficiente, se generará demasiada presión térmica en los extremos del cuarzo. Eso puede causar su daño rápidamente. Asegúrese de que sus conectores estén limpios y que los sellos sean herméticos. De esta manera, la integridad del vacío se mantendrá como debe ser.