در کارخانه، پخت نرم و پخت سخت جایی است که بودجه حرارتی را تنظیم میکنید که کنترل ابعاد بحرانی را تعیین میکند. حتی اگر دما را تنها 1.5°C در سطح ویفر جابجا کنید، پنجره لیتوگرافی شما شروع به ناپدید شدن میکند. ما پنل بخاری مادون قرمز سرامیکی را برای کاهش این عدم قطعیت طراحی کردیم.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد این سیستم مادون قرمز با طول موج کوتاه است که از طریق یک ماتریس سرامیکی متراکم کار میکند، به طوری که حرارت دقیقاً در جایی که نیاز دارید، به سرعت اعمال میشود. شما یکنواختی در سطح ویفر با دقت ±0.1°C در ناحیه فعال دریافت میکنید و تکرارپذیری حتی زمانی که نقاط تنظیم تغییر کنند، همچنان پایدار باقی میماند. سطح در اتاقهای تمیز کلاس 1 تا 100 مقاوم است—بدون ذرات، بدون گازهای اضافی، بدون پوستهپوسته شدن. پاسخ سریع به اندازهای است که میتواند دستورالعملهای دینامیک را بدون افزایش دما دنبال کند، بنابراین بودجه حرارتی قابل پیشبینی باقی میماند. چرا در فرآیند پردازش فوتورزست دوام میآورد فوتورزست از نقاط داغ و لبههای سرد متنفر است. پنل سرامیکی حرارت یکنواختی را فراهم میکند، بنابراین فوتورزست به طور یکنواخت خشک میشود. این به معنای کاهش لبههای ناپایدار و زبری لبه خط است. در عمل، شما شاهد بازده بالاتر و تعداد کمتری از مجددکاریها خواهید بود. این سیستم به صورت 24 ساعته و 7 روز هفته با خروجی پایدار عمل میکند، که باعث کاهش زمانهای غیرمنتظره و افزایش فواصل نگهداری میشود. همچنین کارآمد است—حرارت بر اساس نیاز، حداقل اتلاف در حالت آماده به کار—بنابراین مصرف انرژی را پایین نگه میدارید بدون اینکه عملکرد را به خطر بیندازید. آنچه باید در نصب درست انجام دهید نصب باید دقیق باشد: صافی مکانیکی و جداسازی حرارتی از ماژولهای مجاور. اگر رابط به درستی تنظیم نشده باشد، شما در دما گرادیانهایی را ایجاد خواهید کرد. برای نصبهای سازگار برنامهریزی کنید و در زمان ادغام، محل حسگر دما را دوباره بررسی کنید. پس از تراز شدن، پنل عمل میکند. اما رابط مکانیکی جایی است که یا مشخصات حرارتی کامل را درک میکنید یا بعداً با آن مبارزه میکنید.