حفظ تمیزی ویفرها: حقایق مربوط به گرمایش با امواج مادون قرمز
اگر شما از یک اتاق تمیز در کلاس ۱۰۰ استفاده میکنید، قطعاً با این مشکلات آشنا هستید. یک ذره کوچک گرد و غبار، یا گازی که از یکی از قطعات سازماندهی شده خارج میشود، میتواند باعث از بین رفتن کل محصولات شما شود.
در مورد گرم کردن ویفرهای سیلیکونی، نمیتوان از هر لامپی استفاده کرد. به همین دلیل، ما از کوارتز سنتزی با خلوص بالا برای لامپهای مادون قرمز خود استفاده میکنیم. این تنها راه برای جلوگیری از ورود هرگونه ذره آلاینده به محیط کار است.
چرا کوارتز اهمیت دارد؟
در واقع، کوارتز استاندارد کاملاً «خالص» نیست؛ آن حاوی ناخالصیهایی است که در دماهای بالا به بخار تبدیل میشوند. این موضوع میتواند منجر به مشکلات جدی در فرآیند تولید شود.
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم تا از این پدیده جلوگیری شود. میتوانید لوله کوارتز را مانند یک حباب فشرده در نظر بگیرید؛ این لوله، فیلامنت تنگستن را در خود نگه میدارد تا اصلاً با هوای اتاق تمیز در تماس نباشد.
دستیابی به دمای مناسب
شما نیاز دارید که دما در سراسر ویفر یکنواخت باشد؛ هیچ نقطه گرم یا سردی وجود نداشته باشد.
ما این لامپها را برای استفاده در امواج مادون قرمز کوتاهموج طراحی کردهایم؛ این امر باعث میشود که گرما مستقیماً به سطح ویفر برسد، و نه فقط دیوارههای اتاق تمیز. علاوه بر این، به دلیل استفاده از فیلامنتهای با چگالی بالا، لامپها تقریباً بلافاصله به تغییرات دما واکنش نشان میدهند.
اما یک نکته مهم: مراقب کاهش ولتاژ باشید؛ اگر این لامپها را به صورت زنجیرهای متصل کنید، مقاومت الکتریکی میتواند باعث شود برخی از نقاط ویفر سردتر از سایر نقاط شوند. پیشنهاد میکنم از منابع تغذیه مخصوص استفاده کنید؛ این بهترین راه برای حفظ ثبات ولتاژ در تمام لامپهاست.
واقعیت استفاده از این لامپها
این لامپها طوری طراحی شدهاند که بدون مشکل در ابزارهای نیمههادی موجود قرار بگیرند. اما فراموش نکنید که سیستم خنککنندگی را نیز در نظر بگیرید.
این لامپها مقدار زیادی گرما را در فضای کوچکی تولید میکنند؛ اگر جریان هوا ضعیف باشد، فشار حرارتی زیادی بر روی لولههای کوارتز وارد خواهد شد. این موضوع میتواند منجر به خرابی لامپها شود.
فقط مراقب باشید که اتصالات لامپها تمیز باشند و محافظتهای لازم انجام شود؛ در این صورت، سیستم خنککنندگی نیز به خوبی کار خواهد کرد.