در زمینه لیتوگرافی
شما میدانید که چگونه پیش میرود. یک انحراف ۰.۱ درجه سانتیگراد در دمای پخت، پروفایل فوتورزیست را به نانومترها تغییر میدهد و آن تغییر در برگه بازدهی نمایان میشود. ما بخاریهای دیود لیزر نیمههادی خود را طوری طراحی کردیم که خط حرارتی را در حالی که پنجره فرآیند در نانومترهای تکرقمی اندازهگیری میشود، حفظ کند. آنچه در داخل مهم است ما از گرمایش دیود لیزر نزدیک به مادون قرمز (NIR) با کنترل حلقه بسته استفاده میکنیم و یکنواختی در ناحیه فعال در ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند. تکرارپذیری در ±۰.۲ درجه سانتیگراد از شات به شات حفظ میشود، بنابراین پروفایلهای پخت نرم و پخت سخت از اولین دسته تا صدمین تغییر نمیکنند. پلتفرم به طور تمیز کار میکند—تولید صفر ذره در شرایط کلاس ۱–۱۰۰—و بدون زمان توقف غیرقابل پیشبینی ۲۴/۷ فعال است. پاسخ سریع است، بنابراین تأخیر حرارتی بین مراحل دستورالعمل حداقل است و شما انرژی اضافی را بر روی فیلمهای حساس نمیسوزانید. چرا این در پردازش فوتورزیست مهم است انرژی پخت است که کنترل CD، زاویه دیواره و چگالی نقص را هدایت میکند. با این بخاریها، زیرلایه در نقطه تنظیم هدف با کمترین انحراف نشسته است، بنابراین شما توزیعهای CD تنگتری و تعداد کمتری دستههای تعمیر دوباره دریافت میکنید. پایداری ضایعات و تعمیر دوباره را کاهش میدهد، زمان تغییر را کوتاه میکند و مصرف انرژی را در پیروی از منحنی فرآیند نگه میدارد. شما در همان فضای فیزیکی خروجی قابل پیشبینیتری دریافت میکنید، بدون اینکه بعد از جابجایی ابزار دمایی را دنبال کنید. اینجا چه انتظاری از نصب داریم این بخاریها برای قرار گرفتن در مسیرهای پوشش/پخت موجود طراحی شدهاند، اما شما به رابطهای همخوان و حسگرهای کالیبره شده نیاز دارید تا یکنواختی ±۰.۱ درجه سانتیگراد را حفظ کنید. راهاندازی سریع است—مسیر نوری را تنظیم کرده و حلقه کنترل را برای انباشته زیرلایه خود تنظیم کنید. بعد از آن، بررسیهای روتین: کالیبراسیون حسگر را تأیید کرده و اپتیکها را تمیز نگهدارید، همانند هر روز دیگر در اتاق تمیز.