چرا از سطوح با پوشش طلا برای فرآوری ویفرها استفاده میکنیم؟
بیایید صادقانه باشیم: هدر رفتن انرژی در دستگاههای نیمههادی، نشانه طراحی بد است. وقتی یک هیتر را روشن میکنیم، بخش عمدهای از انرژی مادون قرمز، یا بازتاب داده میشود یا به داخل بدنه دستگاه نفوذ میکند. این کار، هدر رفتن انرژی است. به همین دلیل از پوششهای طلا بر روی سطوح بازتابدهنده استفاده میکنیم؛ این کار مانع از نفوذ انرژی به داخل بدنه دستگاه میشود.
خواص بازتابدهندگی طلا
طلا برای این منظور استفاده نمیشود تا دستگاه را زیباتر کند؛ بلکه به دلایل فیزیکی است. طلا در بازتاب تشعشعات مادون قرمز موج بلند، عملکرد بسیار خوبی دارد. در حالی که آلومینیوم در دماهای بالا دچار مشکل میشود، طلا همچنان کارایی خود را حفظ میکند. این بدان معناست که تقریباً تمام انرژی تولید شده توسط هیتر، به ویفر میرسد.
مشکلات مربوط به سیمکشی و گرما
وقتی با چنین انرژیهایی سروکار داریم، سیمکشی دستگاه باید قادر به تحمل این گرما باشد. ما از سیمهای با عایقبندی تفلون استفاده میکنیم؛ چون این سیمها ذوب نمیشوند. این سیمها میتوانند گرمای شدید ناشی از لامپ را تحمل کنند، بدون اینکه گازهای مضری تولید شود. اگر عایقبندی سیمها از بین برود، آلایندههایی روی ویفر ایجاد میشود؛ که این موضوع واقعاً آزاردهنده است.
نکات مربوط به نگهداری
طلا بهترین ابزار برای این کار است، اما بسیار نرم است. اگر تیم نگهداری از پدهای ساینده برای تمیز کردن ویفر استفاده کند، پوشش طلا از بین خواهد رفت. این کار باعث ایجاد «نقاط سرد» روی ویفر میشود؛ و در نتیجه، پروفایل حرارتی ویفر دچار اختلال میشود. برای حفظ بازتابدهندگی طلا، باید از روشهای تمیزکاری غیرساینده استفاده کرد.
وقتی سیمکشی درست باشد و پوشش طلا سالم باقی بماند، همه چیز به خوبی کار خواهد کرد. زمان رسیدن به دمای مورد نظر کاهش مییابد، و پروفایل حرارتی ویفر یکنواخت خواهد بود.