Dans les usines de fabrication, une variation de 1 °C pendant le processus de séchage des wafers peut détruire toute une série de wafers. Nous avons donc conçu des chauffeurs infrarouges sur mesure pour éliminer ce risque. Ils permettent un contrôle thermique précis au niveau des wafers, quelle que soit la étape du processus : séchage des wafers, séchage du photo-résiste, durcissement des composants emballés, ou séchage après nettoyage.
Ce qui est important en réalité
Le cœur de ces chauffeurs est constitué d’un système infrarouge proche, avec un profil spectral adapté, ce qui permet de chauffer directement le substrat – sans utilisation de bain thermique, et sans risque de contamination. L’uniformité de la température sur le plan du wafer est inférieure à ±0,1 °C, tandis que la répétabilité d’un tir à l’autre reste dans les limites de ±0,5 °C. Le temps de réponse est inférieur à deux secondes, ce qui permet de maintenir une stabilité parfaite. Un environnement de classe 1–100 est assuré grâce à des matériaux en quartz/céramique, ainsi qu’à des designs qui minimisent les émissions de particules. Ces unités sont conçues pour fonctionner 24/7, avec une durée de vie moyenne de dizaines de milliers d’heures. Des modules interchangeables permettent de réduire les temps d’arrêt non planifiés.
En lithographie, le processus de séchage des photo-résists est essentiel pour contrôler les dimensions critiques des wafers. Nos chauffeurs permettent de maintenir une température constante, ce qui réduit les variations de largeur des lignes et améliore le rendement produit. Pour le séchage des wafers et après nettoyage, un chauffage rapide et uniforme empêche l’apparition de marques ou de taches sur la surface des wafers – sans aucun contact physique.
Pour l’emballage, cette même plateforme assure des profils de durcissement constants pour les matériaux utilisés, ce qui réduit les temps de traitement tout en préservant l’adhérence et la fiabilité des composants. La consommation d’énergie est également réduite, car la chaleur est directement utilisée dans le processus, sans être perdue dans la chambre de traitement.
En somme, ces chauffeurs sont conçus spécifiquement pour vos équipements. La géométrie de la chambre, le type de fixation et l’emplacement des capteurs sont tous importants. La mise en service est rapide, et il est nécessaire d’utiliser de l’air propre et sec pour maintenir des conditions stables. Il est essentiel de matchinger la sortie spectrale aux propriétés du substrat ; nous fournissons les données nécessaires pour ajuster l’émissivité et la réflectivité pour chaque processus.