Dans l’usine de lithographie, l’étape de séchage du photorésistant n’est pas optionnelle. Une déviation de 0,5 °C pendant le séchage peut avoir des conséquences graves sur les dimensions critiques des wafers. De plus, la panne d’une lampe peut entraîner l’arrêt complet de la ligne de production. Nous avons conçu nos manchons en quartz justement pour faire face à ces situations : fonctionnement 24/7 sans aucune interruption imprévue.
Ce qui est important du point de vue technique Nous utilisons du quartz de haute pureté, choisi pour sa capacité à transmettre les ondes infrarouges à courte et moyenne longueur d’onde. Cela permet à la lumière émise par la lampe d’affecter correctement le photorésistant. La géométrie du manchon est optimisée pour assurer une uniformité de température sur toute la surface du plateau de séchage. La compatibilité avec les environnements propres est également assurée : les matériaux utilisés permettent de maintenir un faible nombre de particules, même après plusieurs cycles thermiques. Résultat : des profils de séchage reproductibles, d’un cycle à l’autre.
Pourquoi cela fonctionne en lithographie En lithographie, la reproductibilité est essentielle. Ces manchons maintiennent une température constante pendant le séchage, ce qui permet de contrôler les dimensions des wafers et d’améliorer le taux de réussite des processus. Ils prolongent également la durée de vie de la lampe, ce qui réduit les besoins en entretien préventif et les stocks de pièces de rechange. Avec une sortie lumineuse stable et une dégradation prévisible, on passe moins de temps à corriger les écarts de température et plus de temps à expédier les wafers.
Choses à garder à l’esprit Le quartz est solide, mais il n’aime pas les chocs mécaniques et il est sensible à certains produits de nettoyage. Il faut donc manipuler les manchons avec des outils propres et sans risque de rayures. De plus, il est nécessaire de choisir l’interface de connexion de la lampe ainsi que le couple de montage en fonction des spécifications de l’équipement. Pour garantir des performances stables, il est important que le manchon corresponde au spectre lumineux et à la densité de puissance de la lampe ; sinon, sa durée de vie sera réduite, même si le manchon lui-même est en bon état.