בתהליך הליתוגרפיה, כמו שאתם יודעים, כל שינוי קטן בטמפרטורה יכול לגרום לשינויים משמעותיים בממדים של החומרים המשמשים בתהליך – שינויים שיכולים להגיע לננומטרים. ניתן לראות זאת מיד: עלייה בטמפרטורה, יצירת “גשרים” בין החומרים השונים – ובסופו של דבר מדובר בחומרים שאינם ראויים לשימוש. פיתחנו נורות אינפרא-אדום שמאפשרות שליטה מדויקת בטמפרטורה, כך שהתהליך יהיה אחיד, גם במהלך שעות עבודה ארוכות.
מה חשוב מבחינה טכנית?
אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה. החום נכנס ישירות לשכבת הפוטורזיסט, ללא צורך בחימום יתר של החומרים האחרים. כך ניתן להשיג אחידות בטמפרטורה של ±0.1°C, והעקומות של חימום החומרים נשארות יציבות. המערכת נשארת נקייה – ללא יצירת חלקיקים, מה שמתאים לחדרי עבודה מסוג Class 1–100. המערכת מתחברת לממשקים הסטנדרטיים של SEMI. הביצועים של המערכת נשארים יציבים לאחר 5,000 שעות עבודה, עם ירידה בעוצמה של פחות מ-5%.
תהליך עיבוד הפוטורזיסט דורש שליטה מדויקת בטמפרטורה. החימום חייב להתבצע במהירות, ולאחר מכן הטמפרטורה חייבת להישאר יציבה. נורותינו מקצרות את זמן החימום, כך שניתן להשיג יעילות גבוהה יותר, ללא צורך בשימוש באנרגיה גבוהה.
אותו פרופיל טרמי חוזר על עצמו בכל סדרת ייצור. דבר זה מאפשר שליטה מדויקת בממדים של החומרים, וכך התהליך נשאר אחיד. בקווי ייצור 7×24 שעות, התהליך נשאר יציב, ללא זמני עצירה בלתי צפויים, והתחזוקה נעשית בזמן הנכון.
יש כמה דברים שצריך לזכור: ההתקנה של המערכת היא פשוטה, אך יש צורך בשליטה מדויקת על ההתאמה בין הנורות לבין החומרים שעליהם הן פועלות. אם זה לא נעשה, האחידות של החומרים תיפגע.
חזית הנורות חמה מאוד, לכן חיוני להשתמש בבידוד תרמי ובמנגנוני בקרה. כמו כן, יש צורך להתאים את ספקטרום האור של הנורות לספקטרום הספיגה של הפוטורזיסט – כל סוג של פוטורזיסט דורש פרופיל אינפרה-אדום שונה, ולכן אנו מתאימים את המערכת בהתאם.