Role אתם על רצפת הליתוגרפיה, אתם יודעים איך זה עובד. סטייה של 0.1°C בטמפרטורת האפייה משנה את פרופיל הפוטורזיסט בננומטרים, והשינוי הזה מופיע בגליון...

על רצפת הייצור, פרופיל הטמפרטורה של תא הריסוס אינו משהו שמגדירים ושוכחים ממנו. הוא מכתיב בזמן אמת את התפלגות עובי הסרט, המתח והיבול. סטייה של חצי...