फैब फ्लोर पर, स्पटरिंग चैंबर की थर्मल प्रोफाइल ऐसी चीज़ नहीं है जिसे सेट करके भूल जाएं। यह रियल टाइम में फिल्म की मोटाई वितरण, तनाव और यील्ड को नियंत्रित करती है। आधा डिग्री का बदलाव ही डिपोजिशन रेट को इतना प्रभावित कर सकता है कि डिवाइस स्पेसिफिकेशन से बाहर हो जाएं।
हमने अपने सेमीकंडक्टर स्पटरिंग हीटर्स इसी वास्तविकता को ध्यान में रखते हुए बनाए हैं। प्रक्रिया अनुमान लगाने को सहन नहीं करती, और हम भी नहीं।
क्या मायने रखता है
हम क्वार्ट्ज-आधारित डिज़ाइन में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एलिमेंट्स का उपयोग करते हैं ताकि थर्मल साइक्लिंग के दौरान आउटगैसिंग कम रहे और पार्टिकल जनरेशन से बचा जा सके। आपको टारगेट ज़ोन में ±0.1°C के भीतर वेफर-स्तरीय समानता मिलती है, और लोड बदलने पर भी सेटपॉइंट स्थिरता बनी रहती है।
सिस्टम क्लीनरूम क्लास 1–100 पर्यावरण के लिए उपयुक्त है, जिसमें सील किए गए जोड़ों और नियंत्रित सतह की फिनिश होती है जो पार्टिकल काउंट को कम रखती है। रिपीटेबिलिटी ठोस संख्याओं पर आधारित है: डोर साइकलिंग के बाद 3 सेकंड के भीतर तापमान की रिकवरी, और 24 घंटे में 0.2°C से कम लंबी अवधि का बदलाव। पावर डिलिवरी स्टैण्डर्ड वोल्टेज और फुटप्रिंट के अनुरूप कॉन्फ़िगर की जा सकती है, कनेक्टर्स टूल इंटरफेस के साथ मेल खाते हैं ताकि इसे सीधे फिट किया जा सके।
थर्मल कंट्रोल क्यों अहम है
स्पटरिंग में, सब्स्ट्रेट तापमान ग्रेन स्ट्रक्चर, एडहेज़न और तनाव को नियंत्रित करता है। थर्मल बजट को स्थिर करें, तो फिल्म भी स्थिर रहती है। इसका परिणाम है कम स्क्रैप और रिवर्क जो वेरिएबिलिटी से जुड़ी होती हैं।
आप पूरे लॉट में टाइटर वितरण देखते हैं, रैम्प-अप के दौरान कम विचलन होते हैं, और शिफ्ट्स के बीच प्रदर्शन में कोई बदलाव नहीं होता। कुशल इन्फ्रारेड कपलिंग ऊर्जा उपयोग को नियंत्रण में रखती है बिना थ्रूपुट को धीमा किए। डिज़ाइन 24/7 चलता है, नियोजित रखरखाव विंडो के साथ, इसलिए अनियोजित डाउनटाइम न्यूनतम रहता है।
इंस्टालेशन पर क्या ध्यान देना चाहिए
चैंबर ज्योमेट्री के साथ संरेखण और थर्मल लोड का मेल महत्वपूर्ण है। मिसमैच्ड फिक्स्चर या छोटे पावर पाथ समानता को प्रभावित करते हैं। हीटर तभी अपने रेटेड स्पेसिफिकेशन पर काम करता है जब चैंबर पंप-डाउन प्रोफाइल और गैस फ्लो स्थिर हो।
PID ट्यूनिंग लॉक करने और सेटपॉइंट से वेफर कोरिलेशन सत्यापित करने के लिए एक छोटा कमीशनिंग रन योजना बनाएं। एक बार यह सेट हो जाने पर, सिस्टम न्यूनतम समायोजन के साथ दोहराने योग्य परिणाम देता है।