गंदगी को रोकना: वेफर हीटिंग में कणों से होने वाले प्रदूषण से निपटना
उच्च-लोड वाले उत्पादन संयंत्रों में, लैंप के फेल होने से सिर्फ थोड़ी परेशानी ही नहीं होती, बल्कि यह तो एक बड़ी आपदा है। एक क्वार्ट्ज ट्यूब खराब हो जाने पर, वेफरों की सतहें काँच के टुकड़ों एवं धातुओं से ढक जाती हैं। इसीलिए हमने “अल्ट्रा हाई प्योरिटी” (UHP) हीटर लैंप बनाए – ताकि ऐसी स्थितियों से बचा जा सके।
आखिर ये ट्यूबें क्यों खराब हो जाती हैं?
आम तौर पर, ऐसा थर्मल शॉक या किसी विशेष हीटपॉइंट के कारण होता है। हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं; ऐसा क्वार्ट्ज तेज तापमान पर भी नष्ट नहीं होता। लेकिन वास्तविक समस्या तो फिलामेंट की स्थिति है… यदि वह थोड़ा भी दीवार की ओर खिसक जाए, तो वहाँ एक हीटपॉइंट बन जाता है, जिससे क्वार्ट्ज पिघल जाता है। हम फिलामेंट को ठीक जगह पर रखते हैं, ताकि गर्मी समान रूप से पूरी लंबाई में फैल सके।
सब कुछ साफ रखना
सामान्य लैंप UHP उद्देश्यों हेतु उपयुक्त नहीं हैं… वे बहुत ही “गंदे” होते हैं। हम सभी कार्बनिक परतों को हटा देते हैं, एवं विशेष सफाई प्रक्रियाओं के द्वारा शेष अल्कली धातुओं को भी हटा देते हैं।
और चूँकि हमें पता है कि फिर भी कुछ गड़बड़ हो सकती है, इसलिए हम एक सुरक्षा उपाय भी अपनाते हैं… हम UHP लैंप को उच्च-गुणवत्ता वाले क्वार्ट्ज स्लीव के साथ ही उपयोग में लाते हैं… यह तो एक तरह की “सुरक्षा दीवार” ही है… यदि आंतरिक लैंप खराब हो जाए, तो यह स्लीव सभी अवशेषों को रोक लेता है… ताकि वेफर बर्बाद न हों।
विकल्प
ये उच्च-वॉटेज वाले लैंप तो आपको आवश्यक गर्मी प्रदान करते हैं… लेकिन इनका उपयोग करने हेतु आपको उच्च-गुणवत्ता वाली बिजली आपूर्ति की आवश्यकता है… यदि आपके कंट्रोलर सही वोल्टेज प्रदान न कर पाएं, तो फिलामेंट नष्ट हो सकता है।
कुछ सेकंड बचाने हेतु वॉटेज बढ़ाना आकर्षक लग सकता है… लेकिन ऐसा न करें… ऐसा करने से लैंप का जीवनकाल कम हो जाएगा… इसलिए आवश्यक है कि उत्पादन दर एवं रखरखाव के बीच संतुलन बनाया जाए… ताकि उत्पादन जारी रह सके।