Mengapa Kita Menggunakan Reflektor Berlapis Emas untuk Proses Pengolahan Wafer
Sejujurnya, pemborosan energi dalam sistem semikonduktor merupakan tanda desain yang buruk. Ketika pemanas dihidupkan, sebagian besar energi inframerah tersebut hanya memantul atau bocor ke bagian luar perangkat. Itu merupakan pemborosan energi. Itulah mengapa kita menggunakan lapisan emas pada permukaan reflektor tersebut. Lapisan ini mampu mencegah kebocoran energi tersebut.
Kemampuan Reflektivitas Emas
Emas digunakan bukan untuk membuat mesin terlihat lebih mewah, melainkan karena sifat fisiknya yang luar biasa. Emas sangat efektif dalam memantulkan radiasi inframerah berpanjang gelombang. Sementara aluminium biasa mulai kehilangan kemampuan refleksinya ketika suhu meningkat, emas tetap efektif dalam memantulkan radiasi tersebut. Dengan demikian, hampir setiap watt energi dari elemen pemanas benar-benar sampai ke wafer.
Hal ini memungkinkan fokus energi yang lebih baik. Karena energi dialirkan tepat ke tempat yang diperlukan, kita tidak perlu menaikkan daya pemanas secara berlebihan agar mencapai suhu yang diinginkan.
Masalah Terkait Kabel dan Panas Ekstrem
Ketika berurusan dengan energi sebesar ini, kabel yang digunakan harus mampu menangani kondisi panas ekstrem tersebut. Kita menggunakan kabel berisolasi Teflon, karena isolasi tersebut tidak akan meleleh. Dengan demikian, kabel tersebut dapat bertahan di bawah kondisi panas ekstrem tanpa mengeluarkan gas berbahaya. Jika isolasi kabel rusak, maka kotoran akan menempel pada wafer, dan itu merupakan masalah yang sangat tidak diinginkan.
Namun, perlu diingat bahwa kita harus memperhatikan tingkat panas yang dihasilkan oleh reflektor tersebut. Karena reflektor berlapis emas sangat efisien, ia akan menghasilkan banyak panas yang ditransfer ke wafer. Jika sistem pendinginan tidak siap menghadapi peningkatan suhu ini, sensor-sensor di sekitarnya bisa rusak.
Peringatan Terkait Pemeliharaan
Emas merupakan bahan terbaik untuk tujuan ini, tetapi ia sebenarnya sangat lunak. Jika tim pemeliharaan menggunakan alat pembersih yang kasar saat membersihkan permukaan wafer, lapisan emas tersebut akan tergores. Hal ini akan menciptakan “titik dingin” pada wafer, sehingga profil termalnya menjadi tidak stabil. Gunakanlah alat pembersih yang tidak kasar. Itulah satu-satunya cara untuk menjaga kemampuan reflektivitas emas tersebut.
Jika kabelnya dalam kondisi baik dan lapisan emasnya utuh, maka segalanya akan berjalan lancar. Waktu yang diperlukan untuk mencapai suhu target akan berkurang, dan profil termal pada seluruh permukaan wafer akan menjadi lebih stabil.