Nelle strutture di produzione, un’oscillazione di 1°C durante la fase di essiccazione può distruggere l’intero lotto di wafer. Per eliminare questo rischio, abbiamo progettato dei riscaldatori a infrarossi su misura. Essi permettono un controllo termico preciso a livello di singolo wafer, durante le fasi di essiccazione, trattamento del fotoresist e cura del pacchetto, nonché durante l’essiccazione successiva alla pulizia.
Cosa è importante sotto il profilo tecnico
I riscaldatori utilizzano radiazioni a infrarosso vicino, con una distribuzione spettrale ottimizzata, per riscaldare direttamente il wafer, senza alcun rischio di contaminazione. L’uniformità della temperatura sul piano del wafer rimane entro i ±0,1°C, mentre la ripetibilità tra diverse sessioni di riscaldamento è inferiore ai ±0,5°C. Il tempo di risposta è inferiore a due secondi, quindi il controllo termico rimane preciso. Per mantenere condizioni di ambiente pulito, vengono utilizzati materiali in quarzo/ceramica, privi di emissione di gas, e una struttura progettata per ridurre al minimo la presenza di particelle. Questi dispositivi sono progettati per funzionare 24/7, con un tempo medio tra le riparazioni pari a decine di migliaia di ore; inoltre, sono dotati di moduli sostituibili per ridurre i tempi di inattività imprevisti.
Nella litografia, le fasi di essiccazione giocano un ruolo fondamentale nel controllo delle dimensioni dei componenti prodotti. I nostri riscaldatori permettono di mantenere sotto controllo la temperatura del fotoresist, riducendo così le variazioni nella larghezza delle linee e migliorando così il rendimento della produzione. Per quanto riguarda l’essiccazione dei wafer e quella successiva alla pulizia, i riscaldatori garantiscono un riscaldamento rapido e uniforme, evitando così la formazione di striature o altre imperfezioni sulla superficie del wafer, senza alcun contatto diretto.
Nella fase di confezionamento, questa stessa piattaforma permette di ottenere profili di cura uniformi per gli incapsulanti e i materiali utilizzati per riempire gli spazi vuoti tra i componenti, riducendo così i tempi di ciclo. Inoltre, si riduce anche il consumo energetico, poiché il calore viene diretto direttamente nel processo di produzione, senza dispersione in ambienti esterni.
In sintesi: questi riscaldatori sono progettati appositamente per le vostre macchine. La geometria della camera, lo stile delle clip di fissaggio e la posizione dei sensori sono tutti fattori importanti. La messa in servizio è rapida, e è necessario utilizzare aria pulita e asciutta per mantenere stabili i parametri di funzionamento. È fondamentale abbinare l’emissività e la riflettività dei riscaldatori alle caratteristiche del substrato su cui vengono utilizzati; noi forniamo i dati necessari per ottimizzare tali parametri per ogni processo specifico.