Mantenere le wafer perfettamente pulite: la verità sull’usaggio del riscaldamento a infrarossi
Se gestite una sala pulita di classe 100, conoscete bene il problema: anche una piccolissima particella di polvere o un gas che fuoriesce da un componente può rovinare l’intero lotto di prodotto.
Quando si tratta di riscaldare le wafer di silicio, non si può utilizzare qualsiasi tipo di lampada. Ecco perché scegliamo soltanto lampade a infrarossi realizzate con quarzo sintetico ad alta purezza. È l’unico modo per assicurarsi che nulla possa contaminare il prodotto durante il processo di produzione.
Perché il quarzo è così importante
Il quarzo standard in realtà non è “puro”. Contiene impurità che, quando la temperatura aumenta, iniziano a vaporizzarsi. Questo rappresenta un grosso rischio durante la fase di avvio dello stabilimento. Utilizziamo quindi quarzo ad alta purezza per evitare questo problema. Il tubo di quarzo funge da contenitore ermetico, che mantiene il filamento di tungsteno al sicuro, impedendogli di entrare in contatto con l’aria presente nella sala pulita.
Ottenere la temperatura ideale
È necessario che la temperatura sia uniforme su tutta la superficie della wafer: nessun punto troppo caldo, nessuna zona troppo fredda. Le nostre lampade sono progettate per emettere radiazioni a breve lunghezza d’onda, in modo che il calore raggiunga direttamente il substrato, senza riscaldare soltanto le pareti della camera di lavoro. Inoltre, grazie all’uso di filamenti ad alta densità, le lampade reagiscono quasi immediatamente alle modifiche apportate dal controllore PID.
Attenzione alla tensione
Bisogna fare attenzione alla caduta di tensione. Se le lampade vengono collegate in serie, la resistenza può causare problemi, facendo sì che alcune parti della wafer diventino più fredde delle altre. Consiglio di utilizzare alimentatori dedicati: è il modo migliore per mantenere costante la potenza di ciascuna lampada.
La realtà dell’uso pratico
Queste lampade sono progettate per essere installate facilmente negli strumenti per semiconduttori esistenti. Ma non dimenticate di prestare attenzione al sistema di raffreddamento. Queste lampade generano molto calore in uno spazio ridotto; se il flusso d’aria non è sufficiente, potrebbe causare danni al quarzo. È quindi fondamentale mantenere i connettori puliti e assicurarsi che i sigilli siano ben chiusi, così da mantenere l’integrità del sistema a vuoto.