Perché utilizziamo riflettori rivestiti d’oro per la lavorazione dei wafer
Siamo onesti: sprecare energia in un impianto semiconduttore è semplicemente un errore di progettazione. Quando si accende un riscaldatore, una grande quantità di energia infrarossa viene semplicemente dispersa o perde energia all’interno del dispositivo stesso. È uno spreco. Ecco perché utilizziamo rivestimenti d’oro sulle superfici riflettenti: essi evitano che l’energia venga persa.
La proprietà riflettente dell’oro
L’oro non viene utilizzato soltanto per dare all’impianto un aspetto più elegante. Si tratta di questioni legate alla fisica. L’oro è estremamente efficace nel riflettere le radiazioni infrarosse a lunghe onde. Mentre l’alluminio standard perde efficienza man mano che la temperatura aumenta, l’oro mantiene la sua capacità riflettente. Ciò significa che quasi ogni watt di energia emessa dal riscaldatore arriva effettivamente sul wafer. In questo modo si ottiene una concentrazione dell’energia molto migliore. Inoltre, poiché l’energia va esattamente dove è necessaria, non è necessario aumentare troppo la potenza per raggiungere la temperatura desiderata.
Cavi e il problema legato al calore
Quando si lavora con energie così elevate, i cavi devono essere in grado di resistere a tali condizioni. Utilizziamo cavi isolati con materiale Teflon per un motivo semplice: non si sciolgono. Possono resistere al calore estremo senza rilasciare sostanze nocive. Se l’isolamento dei cavi dovesse danneggiarsi, potrebbero formarsi contaminanti sul wafer, il che sarebbe davvero un disastro.
Attenzione alla manutenzione
L’oro è lo strumento migliore per questa applicazione, ma è anche molto fragile. Se il personale addetto alla manutenzione utilizza strumenti abrasivi durante le pulizie, potrebbe rovinare il rivestimento d’oro. Questo creerebbe “punti freddi” sul wafer, rendendo il profilo termico irregolare. È quindi fondamentale utilizzare metodi di pulizia non abrasivi. È l’unico modo per mantenere costante la capacità riflettente dell’oro.
Quando i cavi sono in buone condizioni e il rivestimento è intatto, tutto funziona perfettamente. Il tempo necessario per raggiungere la temperatura desiderata diminuisce, e si ottiene un profilo termico uniforme su tutto il wafer.