Ridurre le emissioni di carbonio nelle linee di lavaggio dei semiconduttori (senza problemi)
Siamo onesti: le fasi di lavaggio e asciugatura nei circuiti produttivi di semiconduttori rappresentano una grande fonte di consumo energetico. È lì che viene sprecata molta energia. Abbiamo dedicato molto tempo a cercare soluzioni per risolvere questo problema, e la soluzione si è rivelata essere l’uso di lampade a raggi infrarossi impermeabili.
Queste lampade sono state progettate appositamente per quelle camere umide in cui i normali dispositivi non funzionano correttamente.
Smettiamo di riscaldare l’aria
I forni tradizionali basati sulla convezione cercano di riscaldare tutto. Sprecano tantissima energia per riscaldare l’intera camera, solo per far asciugare il wafer. È inefficiente.
Le nostre lampade a raggi infrarossi funzionano in modo diverso: utilizzano radiazioni a onde corte per raggiungere direttamente la superficie del wafer. In questo modo non bisogna affrontare il problema legato alla massa termica dell’intero sistema. Di conseguenza, il consumo energetico diminuisce. Si ottiene così un tempo di utilizzo più rapido, e non c’è più spreco di energia mentre il sistema è in standby. È semplicemente più efficiente.
Gestire l’umidità
Se si utilizza un tubo di quarzo standard nelle fasi di lavaggio, questo si romperà o smetterà di funzionare. L’umidità è semplicemente troppo elevata.
Ecco perché queste unità vengono sigillate ermeticamente. Ci concentriamo sulle interfacce degli elettrodi per impedire l’ingresso dell’umidità, utilizzando quarzo di alta purezza e componenti in grado di resistere al vapore acqueo senza danneggiarsi.
Ma attenzione: bisogna controllare la potenza delle lampade. Un array a raggi infrarossi ad alta densità genera una grande quantità di calore. Se il sistema di ventilazione non è abbastanza efficace per dissipare quel calore, i sensori e gli strumenti potrebbero essere danneggiati. L’equilibrio è fondamentale.
Realizzare “fabbriche verdi” efficaci
Quando si parla di “fabbriche verdi”, spesso si tratta di espressioni legate al marketing. Ma nel mondo reale, si tratta semplicemente di efficienza.
Uno dei vantaggi principali delle lampade a raggi infrarossi è che funzionano immediatamente: basta accenderle o spegnerle, senza alcun ritardo. Così non c’è più spreco di energia durante i momenti in cui i wafer vengono trasportati da un posto all’altro.
Otteniamo i migliori risultati quando gli ingegneri sostituiscono quei vecchi riscaldatori termici con array a raggi infrarossi. In questo modo si può decidere esattamente dove va riversato il calore. Questo riduce il consumo energetico per ogni wafer, aiutando così a raggiungere gli obiettivi legati alla riduzione delle emissioni di carbonio… senza ridurre la velocità di produzione.