クリーンルーム内のカートを安全に保つために（そして、チームの安全も確保するために） 正直言って、半導体製造工場は非常に過酷な環境です。可燃性の溶剤や不安定な化学物質を扱う以上、火花が発生することは絶対に避けたいものです。 もし、輸送用カートにIRヒーターを使用しているなら、そのリスクはよく理解しているでしょう。石英管にわずかなひび割れがあったり、配線が緩んでいたりするだけで、大惨事につながります。私たちは、このような事態を防ぐ方法を長い間研究してきました。主に、シール部分に重点を置いています。 秘密は、そのコーティングにあります。 一般的なIRランプでは、配線や電極が露出した状態になっています。化学物質が存在する環境では、これは大変危険です。腐食性の蒸気がその接続部分を侵食し、最終的にはアーク放電が起こります。 私たちは異なる方法を採用しています。ランプを強化された石英製のケースの中に収め、端を高温度に耐えられる化学的に不活性な樹脂で密封します。これにより、電気と空気の間に硬い壁ができ、液体が密封部分を通過して活動中の端子に触れることがありません。 熱の管理 私たちは短波長のIRエミッターを使用しています。これにより、迅速に加熱できます。これにより、処理速度が上がります。しかし、このような高熱はシール部分に大きな負荷をかけます。 破損を防ぐために、拡張型の石英管を使用しています。これにより、加熱時にも材料がしっかりと収まります。ただし、取り付けブラケットが管を過度に締め付けないように注意してください。もし強く締め付けすぎると、機械的な故障が起こります。少し余裕を持たせてください。 装置の使い方 これらの製品は、標準的なコネクタを使用しているため、取り付けも簡単です。また、密封処理により、重くて大きな防爆ケースを使う必要がありません。その結果、カートがよりスリムになります。 ただし、外側のケースは汚れやすいです。時間が経つにつれて化学物質の残留物が溜まります。そのため、チームが定期的に清掃することが重要です。汚れを放置すると、ガラス面に「ホットスポット」ができ、ランプが本来より早く壊れてしまいます。