クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

オーブンの内壁を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を直接加熱しましょう。 もし半導体製造において従来の対流式オーブンを使ったことがあるなら、その非効率さはご存知でしょう。空気全体を加熱するため、装置の内側全体が巨大なラジエーターのようになってしまいます。これはエネルギーの無駄遣いであり、実際、近くに...