ウェーハ用IRコンフォーマルコーティング

製造現場では、300mmのウェーハには何千ものチップが搭載されており、それぞれのチップは熱歪みに敏感です。リソグラフィ装置内では、ソフトベイクとハードベイクの工程によって寸法精度が決まります。もしIR光源の均一性が保てなければ、線幅の制御も乱れ、結果として歩留まりが低下します。これは明確に測定可能...