化学処理を行う場所で赤外線ヒーターを使用する場合、その危険性はよく知られています。そこには可燃性の溶剤や腐食性のある蒸気が存在します。このような環境では、単純なワイヤー接続は単なる弱点に過ぎず、むしろ危険な要因となります。わずかな火花や密封不良があれば、瞬時に火災が発生する可能性があります。 これ...

ファブフロアでは、ソフトベイクとハードベイクが、クリティカルディメンション制御を左右するサーマルバジェットを設定する場所です。ウエハ上で温度が1.5°Cでもずれると、リソグラフィウィンドウが消え始めます。この不確実性を排除するために、セラミック赤外線ヒーターパネルを設計しました。 技術的に重要なこ...