ウェーハツール用赤外線ランプソケット

ウェーハを扱う際には、ソフトベイクやハードベイクの際にわずか半度の誤差があっても、重要な寸法が変わってしまったり、エッチング後にスケールが残ったり、歩留まりが低下したりすることがあります。私たちが開発した赤外線ランプソケットは、サイクルごとに一定の温度管理を実現し、ウェーハの熱挙動を制御します。...