セラミック赤外線ヒーターパネル

ファブフロアでは、ソフトベイクとハードベイクが、クリティカルディメンション制御を左右するサーマルバジェットを設定する場所です。ウエハ上で温度が1.5°Cでもずれると、リソグラフィウィンドウが消え始めます。この不確実性を排除するために、セラミック赤外線ヒーターパネルを設計しました。 技術的に重要なこ...