マイクロLEDウエハ乾燥ヒーター

ライン上では、1つのホットスポットがMicro LEDエピウエハ全体を破壊する可能性があります。ソフトベイクとハードベイクは、単なる画面上のパラメータではなく、クリーンなパターンと廃棄ロットの間に引かれた線です。そのため、ファブが要求する方法でその熱工程を実行するために、Micro LEDウエハ乾...