感光材剥離用加熱器

ウェーハフロアの現場はご存知でしょう：サポートヒーターが設定温度から0.8°Cずれたためにストリップチャンバーが停止。フォトレジスト残留物が付着し、再作業が積み上がり、歩留まりが低下します。 背面で重要なポイント フォトレジストストリッピング用のサポートヒーターは、一つの目的で設計されています—繰...