ウェーハ加熱用の安全距離

IRランプがウェーハを破壊するのを防ぎましょう。 大量生産の半導体製造ラインでは、IRランプが故障すると、単なる手間や生産停止に留まらず、大きな問題となります。 石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぎます。1つのランプが故障するだけで、数秒で一括されたウェーハがダメ...