フォトレジスト用に最適な赤外線ランプ

リソグラフィーの工程においては、焼成温度が半度でも変動すると、フォトレジストの特性が崩れてしまいます。線幅の制御や密着性、欠陥密度といったものは、正確な温度管理にかかっています。私たちは、そのような温度管理を実現するために、専用の赤外線ランプを開発しました。 技術的な仕組みは簡単です。短波長の赤外...