ウェーハ処理装置用温度センサー

工具の内壁を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 半導体ウェーハを適切な温度に保つのは、非常に精密な作業です。しかし、通常の赤外線ランプを使用している場合、実際には無駄な労力がかかっています。そのようなランプはあらゆる方向に熱を放出するため、エネルギーの大部分が工具の内壁を温めるだけ...