フレキシブルエレクトロニクスウェーハヒーター

実際の製造プロセスにおいては、柔軟な基板上や薄膜層においては、温度管理が不十分になると大きな問題が生じます。ソフトベイク時にわずかな温度変動があっても、重要な寸法が変わってしまいます。ハードベイクを強く行うと、苦労して維持してきたフォトレジストの形状が崩れてしまいます。不均一な温度分布では、清掃や...