IC用コンパクト赤外線ドライヤー

ライン上での状況 ソフトベイクのドリフトが±0.5℃で、レジストにライン幅の誤差が直接印刷されるという状況はご存知の通りです。オーブンは遅すぎ、ホットプレートはスペースを占有し、熱予算はすでに確保されています。そこで、私たちはそのドリフトを元から抑制するIC用のコンパクトな赤外線ドライヤーを開発し...