기계의 벽면을 더 이상 가열하지 마세요!
대부분의 가열 요소들은 엉망진창입니다. 그냥 열을 사방으로 퍼뜨리기만 하죠. 이는 반도체 제조 공정에서 큰 문제가 됩니다. 결국 기계의 외부 벽면이 과도한 열을 흡수하게 되는 것입니다.
이는 이중의 문제를 야기합니다. 첫째, 에너지가 낭비됩니다. 둘째, 작업자들은 기계를 계속 작동시키기 위해 화상을 입지 않으려고 애쓰야 합니다. 게다가 내부 부품들이 변형될 위험도 있습니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 바로 방향성 적외선 램프입니다.
실제 작동 원리
이걸 스페이스 히터라기보다는 손전등에 비유할 수 있습니다. 적외선 램프는 챔버 안의 공기 전체를 따뜻하게 하는 대신, 전자기파를 직선으로 방출합니다. 그래서 열은 목표물인 웨이퍼나 기판에만 닿고, 그 외의 부분들은 차갑게 유지됩니다. 이렇게 되면 기계의 외부에 거대한 냉각 장치를 설치할 필요가 없어집니다.
실제 환경에서의 활용
필요에 따라 단파나 중파 적외선을 사용하여 열을 정확하게 원하는 곳에 전달할 수 있습니다. PID 컨트롤러와 함께 사용하면 매우 정밀한 온도 조절이 가능합니다.
가장 좋은 점은 기계의 외부 벽면의 온도가 크게 낮아진다는 것입니다. 그래서 고온 환경에서 발생하는 문제들을 해결할 수 있습니다.
단점 (항상 있기 마련입니다)
방향성 가열은 매우 섬세한 작업입니다. 만약 부품의 위치가 몇 밀리미터만 어긋나도 기판에 차가운 부분이 생깁니다. 그러므로 반사판을 정확하게 설정해야 합니다.
또한, 고출력 적외선 램프는 많은 전력을 소모합니다. 전원 연결선이 그러한 과도한 전류를 감당할 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 계속해서 차단기를 리셋해야 할 것입니다.
하지만 일단 설정이 완료되면, 기계의 외부 벽면은 더 이상 거대한 방열판처럼 작용하지 않습니다. 그 결과, 전기 요금도 절약될 뿐만 아니라, 작업자들도 화상을 입지 않고 기계 주위에서 안전하게 작업할 수 있습니다.