반도체 세척 공정에서 탄소 배출을 줄이는 방법 (고민할 필요 없이)
솔직히 말해서, 반도체 제조 공장의 세척 및 건조 공정은 에너지 소모가 엄청납니다. 많은 에너지가 그저 낭비되는 것이죠. 우리는 이 문제를 해결하기 위해 오랜 시간을 들였으며, 그 해답은 바로 방수 기능이 있는 적외선 램프였습니다.
이 램프들은 습하고 축축한 세척실 환경에 특별히 설계된 것으로, 일반적인 장비들은 그런 환경에서는 제대로 작동하지 못합니다.
공기를 가열하는 것을 멈추세요
전통적인 대류식 오븐의 경우, 모든 것을 가열하려고 합니다. 웨이퍼를 건조시키기 위해 전체 공간을 가열하는 데 엄청난 에너지가 소모됩니다. 이는 비효율적입니다.
반면, 적외선 램프는 달라집니다. 짧은 파장의 광선을 사용하여 웨이퍼 표면에 직접 열을 가합니다. 따라서 전체 시스템의 열량을 고려할 필요가 없습니다. 그 결과, 에너지 소비가 줄어들고, 시스템이 대기 상태일 때에도 에너지가 낭비되지 않습니다.
습도 문제 해결
일반적인 석영관을 세척 공정에 사용하면, 그 석영관이 깨지거나 고장나버립니다. 습도가 너무 높기 때문입니다.
그래서 우리는 이러한 장치들을 견고하게 밀봉합니다. 고순도 석영과 물증기에도 견딜 수 있는 밀폐 장치를 사용하여 습기가 들어오지 않도록 합니다.
하지만 주의해야 할 점은, 와트수를 잘 조절해야 한다는 것입니다. 고밀도 적외선 배열은 엄청난 양의 열을 발생시킵니다. 만약 배기 시스템이 충분히 강력하지 않다면, 센서나 도구들이 손상될 수 있습니다. 균형을 맞추는 것이 중요합니다.
“친환경 공장”을 실현하는 방법
사람들이 “친환경 공장”에 대해 이야기할 때, 그건 종종 마케팅용 표현처럼 들립니다. 하지만 실제로는 효율성에 관한 문제입니다.
적외선 램프의 가장 큰 장점은 즉각적으로 작동한다는 것입니다. 켜지고 꺼지는 데 시간이 걸리지 않습니다. 웨이퍼가 이동하는 동안 발생하는 에너지 낭비도 없습니다.
엔지니어들이 오래된, 무거운 가열 장비 대신 적외선 배열을 사용할 때 가장 큰 효과를 볼 수 있습니다. 열이 어디로 가는지 정확히 조절할 수 있으며, 그 결과 웨이퍼당 소비되는 에너지가 줄어듭니다. 이를 통해 탄소 배출을 줄일 수 있으며, 생산 속도도 느려지지 않습니다.