웨이퍼용 광학 코팅

생산 라인에서는 300mm 웨이퍼에 수천 개의 칩들이 있으며, 이 칩들은 모두 온도 변화에 매우 민감합니다. 리소그래피 장비 내부에서는 소프트 베이크와 하드 베이크 과정을 통해 치수 정확도를 유지합니다. 만약 적외선 소스가 일정한 온도를 유지하지 못한다면, 선의 굵기...