포토레지스트 스트립 지원 히터

웨이퍼 플로어에서 흔히 볼 수 있는 상황을 알고 있을 것이다. 스트립 챔버가 지원 히터가 설정값에서 0.8℃ 벗어나면서 작동을 멈춘다. 포토레지스트 잔여물이 남아 있다. 재작업이 쌓인다. 수율이 떨어진다. 내부에서 중요한 요소 포토레지스트 스트립 지원 히터는 한 가지...