UHP(초고순도) 히터 램프

혼란을 막는 방법: 웨이퍼 가열 과정에서의 입자 오염 문제 해결 고부하가 요구되는 제조 환경에서는 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 정말 끔찍한 상황입니다. 하나의 석영관이 파손되면 웨이퍼 표면에 유리 조각과 금속 파편들이 묻게 됩니다. 이는 심...