스테인레스 스틸 히터 하우징 제작

리소그래피 플로어에서 포토레지스트 베이크 중 0.5°C 편차는 작은 오차가 아니다. 이는 수율 저하로 직결된다. 웨이퍼는 온도 변화에 관대하지 않으며, 장비 역시 그럴 수 없어야 한다. 우리는 온도 균일도, 청정도, 가동 시간 확보가 요구사항인 팹 환경에 맞춰 스테인...