웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

IR 램프가 웨이퍼를 망가뜨리는 것을 막으세요. 대량 생산 환경에서 IR 램프가 고장 나면 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 진정한 재앙입니다. 쿼츠 튜브가 파손되면 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어집니다. 하나의 고장 난 램프만으로도 몇 초 만에 전체 웨이...