클린룸 오븐 적외선 히터

오븐의 벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 만약 반도체 제조에 표준적인 대류식 오븐을 사용해본 적이 있다면, 그 과정이 어떤지 잘 알 것입니다. 공기를 가열하다 보니 오븐의 내부 전체가 거대한 라디에이터 역할을 하게 됩니다. 이는 에너지 낭비...