유연 전자소자 웨이퍼 히터

열 관리가 제대로 이루어지지 않으면, 유연한 기판과 박막층들은 매우 민감하게 반응합니다. 조금이라도 온도에 변동이 생기면, 중요한 치수들도 변하게 됩니다. 고온으로 가열하면, 겨우 유지해놓았던 포토레지스트의 형태가 무너지기 시작합니다. 불균일한 온도 분포는 청소나 건...