진공 챔버 내의 “오븐 효과”를 막는 방법 반도체 제조 공장에서 일해본 사람이라면 이 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼를 가열해야 하지만, 진공 챔버 전체가 오븐처럼 되는 것은 원치 않습니다. 일반적인 가열 방식은 모든 방향으로 열이 퍼집니다. 진공 상태에서는...

진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터: 고성능 웨이퍼 처리 라인의 핵심 기술 우리가 이러한 진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터를 만든 이유는, 첨단 반도체 처리 과정이라는 극한의 환경 속에서도 안정적으로 작동할 수 있도록 하기 위함입니다. 또한, 일관된 성능...