휘발성 화학물질이 있는 곳에서 적외선 가열기를 사용할 때 안전을 유지하는 방법 반도체 공장을 운영하는 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 적외선 램프는 화학적 세척제와 같은 곳 근처에서 사용됩니다. 솔직히 말해, 그런 화학물질들은 열을 싫어합니다. 그러한 곳에서 그냥 램프...

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 절대로 생략될 수 없습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 제품의 치수 정밀도에 악영향을 미칠 수 있으며, 한 개의 램프가 고장 나면 전체 생산 공정이 중단됩니다. 우리는 바로 이러한...