리소그래피 공정에서는 온도가 단 0.5도만 벗어나도 포토레지스트의 특성이 변질됩니다. 선 폭 제어, 접착력, 결함 밀도 등 모든 것은 정밀한 온도 관리에 달려 있습니다. 우리는 이러한 요구사항을 충족시키기 위해 적외선 램프를 특별히 설계했습니다. 기술적으로는 간단합니...

리소그래피 공정에서는, 아시다시피, 약간의 온도 변화라도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 단 half degree만큼의 온도 변동이 있어도, 치수는 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 이런 경우 즉시 문제가 발생합니다. 웨이퍼 표면에 이상 현상이 생기고, 결국...

웨이퍼 플로어에서 흔히 볼 수 있는 상황을 알고 있을 것이다. 스트립 챔버가 지원 히터가 설정값에서 0.8℃ 벗어나면서 작동을 멈춘다. 포토레지스트 잔여물이 남아 있다. 재작업이 쌓인다. 수율이 떨어진다. 내부에서 중요한 요소 포토레지스트 스트립 지원 히터는 한 가지...