진공 챔버용 적외선 히터

진공 챔버 내의 “오븐 효과”를 막는 방법 반도체 제조 공장에서 일해본 사람이라면 이 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼를 가열해야 하지만, 진공 챔버 전체가 오븐처럼 되는 것은 원치 않습니다. 일반적인 가열 방식은 모든 방향으로 열이 퍼집니다. 진공 상태에서는...