극자외선(EUV) 리지스트 가열기 부품들

EUV 리소그래피 공정에서, 리지스트를 가열하는 과정은 단순히 열처리 단계에 불과한 것이 아닙니다. 이 과정에서 선폭 제어와 결함 발생 가능성도 결정됩니다. 몇 십 분의 일 도의 온도 변동이나 미세한 입자의 존재만으로도 CD의 균일성이 깨질 수 있으며, 그 결과 많은...