Pada tahap pengeluaran, substrat yang fleksibel serta lapisan filem tipis ini sangat sensitif terhadap perubahan suhu. Walaupun perubahan suhu yang berlaku hanya sedikit sahaja, ia boleh menyebabkan dimensi penting komponen tersebut berubah. Jika proses pemanasan dilakukan secara berlebihan, profil fotoresist yang telah dipelihara dengan baik akan terganggu. Pola suhu yang tidak sekata pula akan menyebabkan sisa-sisa kotoran tetap melekat pada permukaan komponen tersebut. Selain itu, proses pembungkusan yang dilakukan pada suhu yang rendah akan menyebabkan adanya rongga-rongga yang tidak diinginkan.
Apa yang penting dalam proses pengeluaran
Pemanas wafer elektronik yang fleksibel ini direka khusus untuk digunakan di lantai pengeluaran, bukan untuk tujuan demonstrasi. Ia memastikan keseragaman suhu sekitar ±0.1°C di seluruh kawasan aktif wafer. Setiap wafer akan mendapat suhu yang sama, tanpa adanya perbezaan suhu antara bahagian tepi dan tengah, serta tanpa adanya titik panas yang boleh menyebabkan masalah. Pemanas ini sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Permukaan pemanasnya direka agar tidak menghasilkan zarah-zarah yang boleh merosakkan kualiti produk. Proses pemanasan fotoresist dapat dilakukan secara konsisten kerana kawalan suhu yang stabil. Suhu akan sentiasa berada pada tahap yang ditetapkan, tanpa berlaku penyimpangan.
Mengapa pemanas ini sesuai untuk pengeluaran
Pemanas ini direka berdasarkan empat operasi utama yang diperlukan dalam proses pengeluaran: pengeringan wafer, pemanasan fotoresist secara perlahan dan cepat, proses pembungkusan, dan pembersihan. Keseragaman suhu yang tinggi membolehkan masa pemanasan dikurangkan, kerana tidak perlu memanaskan wafer lebih lama untuk mencapai suhu yang diinginkan. Selain itu, kawalan suhu yang stabil juga membantu mengurangkan jumlah bahan yang rosak akibat profil fotoresist yang tidak memenuhi spesifikasi. Reka bentuk pemanas yang bebas daripada zarah-zarah kecil pula membantu mengelakkan kecacatan mikro yang boleh menjejaskan kualiti produk. Pemanas ini boleh beroperasi 24/7 dengan penyelenggaraan yang mudah, tanpa gangguan akibat perubahan suhu.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Semasa pemasangan, perlu memastikan aliran udara dan gas dari alat pemanas sesuai dengan keperluan bilik pengeluaran. Pemanas juga perlu diletakkan pada jarak yang tepat agar keseragaman suhu dapat dikekalkan. Pemanas ini sangat sensitif terhadap kestabilan voltan. Turun naik voltan boleh menyebabkan perubahan suhu sementara sebelum kawalan suhu dapat mengatasinya. Pastikan adanya saluran bekalan tenaga yang stabil, dan periksa jisim haba substrat yang digunakan. Lapisan filem tipis akan bertindak balas lebih cepat, manakala lapisan yang tebal memerlukan masa yang lebih lama untuk mencapai suhu yang diinginkan. Setelah semuanya disesuaikan, maka proses pengeluaran dapat berjalan tanpa banyak masalah.