Mengapa Kami Gunakan Permukaan Reflektor Berlapis Emas untuk Proses Pengolahan Wafer
Sejujurnya, pembaziran tenaga dalam sistem semikonduktor merupakan tanda reka bentuk yang buruk. Apabila pemanas dihidupkan, sebahagian besar tenaga inframerah tersebut akan terbuang atau meresap ke dalam badan mesin. Ini merupakan pembaziran. Itulah sebabnya kami menggunakan lapisan emas pada permukaan reflektor tersebut. Lapisan ini dapat menghalang tenaga tersebut daripada terbuang.
Kelebihan Reflektiviti Emas
Emas digunakan bukan untuk membuat mesin kelihatan lebih menarik, tetapi kerana sifat fizikalnya yang unik. Emas sangat efektif dalam memantulkan radiasi inframerah berpanjang. Sementara aluminium biasa akan kehilangan keupayaannya untuk memantulkan cahaya apabila suhu meningkat, emas tetap mampu memantulkan cahaya tersebut. Ini bermakna hampir setiap watt tenaga dari elemen pemanas akan sampai ke wafer.
Dengan cara ini, fokus panas akan menjadi lebih tepat. Dan kerana tenaga tersebut dialirkan ke tempat yang sepatutnya, anda tidak perlu meningkatkan kuasa pemanas untuk mencapai suhu yang diinginkan.
Masalah Berkaitan Kabel dan Panas yang Berlebihan
Ketika berurusan dengan tenaga sebesar ini, kabel yang digunakan haruslah berkualiti tinggi. Kami menggunakan kabel yang dilapisi Teflon kerana ia tidak akan cair walaupun terdedah kepada haba yang tinggi. Dengan cara ini, kabel tersebut dapat bertahan tanpa mengeluarkan gas berbahaya. Jika lapisan pelindung kabel rosak, kotoran akan terkumpul pada wafer, dan itu bukanlah sesuatu yang kita inginkan.
Namun, perlu diingat bahawa reflektor berlapis emas sangat efisien, sehingga ia akan menghasilkan tekanan haba yang tinggi pada wafer. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat untuk menangani peningkatan suhu ini, sensor-sensor di sekeliling wafer boleh rosak.
Amaran Mengenai Penyelenggaraan
Emas merupakan alat yang terbaik untuk tujuan ini, namun ia sangat lembut. Jika pasukan penyelenggaraan menggunakan alat pembersih yang kasar semasa membersihkan permukaan wafer, lapisan emas akan tercalar. Ini akan menyebabkan “titik sejuk” pada wafer, dan profil haba akan menjadi tidak stabil. Oleh itu, gunakanlah alat pembersih yang tidak kasar. Itulah satu-satunya cara untuk memastikan reflektiviti emas tetap konsisten.
Apabila kabel berfungsi dengan baik dan lapisan emas masih utuh, segalanya akan berjalan lancar. Masa yang diperlukan untuk mencapai suhu yang diinginkan akan berkurangan, dan profil haba akan menjadi lebih stabil di seluruh permukaan wafer.