Op de productielijn bevindt zich een schijf van 300 mm, waarop duizenden componenten zijn geplaatst. Elke van deze componenten is gevoelig voor thermische afwijkingen. Binnenin de lithografiecel worden de benodigde temperaturen bepaald door middel van speciale verhittingstechnieken. Als de IR-bron geen constante temperatuur kan behouden, leidt dat tot afwijkingen in de afmetingen van de componenten. Hierdoor neemt de kans op fouten toe.
Wat technisch gezien belangrijk is: We hebben een systeem ontwikkeld dat ervoor zorgt dat de temperatuur op de schijf binnen een marge van ±0,1°C blijft. Dit wordt bereikt met behulp van kortegolflengte-IR-emitters die een nauwkeurige controle over de spectrale eigenschappen bieden. Het thermische profiel blijft bij elke productieronde hetzelfde. We hebben ook vastgesteld dat er geen deeltjes worden geproduceerd in schone ruimtes van klasse 1–100. Het systeem past zich gemakkelijk aan bestaande omstandigheden aan: er zijn kwartsgeïsoleerde zones, materialen met lage uitstoot van gassen, en het systeem is 24/7 betrouwbaar, zodat er geen onverwachte stilstanden optreden. De precisie van de temperatuur tijdens het verhitten van de fotoresist wordt nauwkeurig gemeten en vastgelegd.
Het is belangrijk om discipline in het proces te hebben, in plaats van te gokken. Dit systeem zorgt er namelijk voor dat de thermische parameters constant blijven, zodat de afmetingen van de componenten binnen de vereiste grenzen blijven. De productietijd verbetert, omdat het niet nodig is om te wachten tot het thermische profiel zich heeft gestabiliseerd. De energieverbruik neemt ook af, dankzij de hoge efficiëntie van de emitters en de mogelijkheid om de temperatuur nauwkeurig te regelen. Het resultaat? Minder defecten, minder herwerkingswerkzaamheden, en een productielijn die perfect functioneert.
Bovendien zorgt dit systeem ervoor dat alles transparant is. Er is geen sprake meer van onverwachte afwijkingen of uitleg over waarom de productielijn niet goed werkt. Het proces werkt zoals het hoort, en de cijfers blijven consistent.
Voordat je het systeem in gebruik neemt, moet je weten hoe het werkt. Je hebt een aparte stroomvoorziening en een afvoersysteem dat voldoet aan de eisen voor schone ruimtes nodig. Het systeem werkt samen met standaardchucks en SEMI-interfaceën. Echter, voor een volledige validatie moeten ook de specifieke fotoresistsoorten en verhittingsprocedure worden meegenomen in de configuratie. Plan een twee dagen durende integratiefase in, zodat je de zones kunt instellen en de thermische parameters kunt controleren tegenover jouw controleplannen.